คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (หรือเรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์จับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับระบบพลาสมาในอุตสาหกรรมและเซมิคอนดักเตอร์ โดยสามารถปรับค่าอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิด RF ให้สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงได้ของห้องพลาสมา, เครื่องเอทช์, PECVD และอุปกรณ์สปัตเตอริง ช่วยลดพลังงานสะท้อนกลับและเพิ่มประสิทธิภาพการถ่ายโอนพลังงานสูงสุด ด้วยการปรับจูนที่รวดเร็ว การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และการออกแบบแบบติดตั้งในแร็คที่กะทัดรัด ทำให้มั่นใจได้ถึงการจุดติดพลาสมาที่เสถียร ประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิตตลอด 24/7 มีให้เลือกทั้งของใหม่ ของรีเฟอร์บิช และของมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างเต็มรูปแบบ
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- การจับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การปรับจูนแบบเรียลไทม์เพื่อจับคู่เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิดกับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลงได้; ลดพลังงานสะท้อนกลับ (โดยทั่วไป
- ความเร็วในการปรับจูนสูง: การตอบสนองความเร็วสูง (น้อยกว่า 1 วินาทีสำหรับรุ่นส่วนใหญ่) สำหรับการจุดติดพลาสมาอย่างรวดเร็วและการฟื้นตัวจากโหลดที่เปลี่ยนฉับพลัน
- ช่วงความถี่และกำลังไฟที่กว้าง: รองรับ 13.56MHz (มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างที่แข็งแรงทนทาน: ตู้โลหะสำหรับงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน (มีตัวเลือกแบบระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุแบบปรับค่าได้, ตัวเหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์คุณภาพสูง เพื่ออายุการใช้งานระยะยาว (มากกว่า 1,000,000 รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: การกัดลาย RIE/ICP, การเคลือบแบบ PECVD/LPCVD, การขจัดพลาสมา, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบโหลดล็อก
- การเคลือบสุญญากาศ: สปัตเตอริง, การระเหย, การเคลือบฟิล์มบางแบบ PVD/CVD สำหรับงานออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาในอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การกัด และการเคลือบสำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- งานวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการส่งมอบ RF พลาสมาที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม มาพร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS พร้อมให้บริการ มีหมายเลขติดตาม + ลิงก์ให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก