คำอธิบาย:
เครื่องวัดความดันแบบคาปาซิแตนซ์ MKS Baratron เป็นทรานสดิวเซอร์สุญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม มาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแผ่นไดอะแฟรมแบบคาปาซิแตนซ์ที่จดสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ถูกกระทบจากองค์ประกอบของก๊าซในกระบวนการ ใช้งานร่วมกับแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลักอย่าง AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มมาตรฐานอุตสาหกรรมอื่น ๆ ได้อย่างกว้างขวาง ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่เสถียรสูงเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการกัด (etching), CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ รับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และช่วยเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดพิเศษ 0.01% ของสเกลเต็ม และมีความเสถียรระยะยาวที่ยอดเยี่ยมพร้อมการดริฟต์ต่ำ เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์MKS.
- ชิ้นส่วนไดอะแฟรมและส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบสมบูรณ์ ทนทานต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยง่าย เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบกัด (etching)
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดด้วยพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้ก๊าซ MFC ระบบปั๊มสุญญากาศ การตรวจจับการรั่วไหล และอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์ (Solar PV), การเคลือบ LED, กระบวนการสุญญากาศทางเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: รองรับ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก