คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม เป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบคาปาซิแตนซ์ไดอะแฟรมที่ได้รับสิทธิบัตร ทำให้สามารถวัดความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ได้รับผลกระทบจากองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการ ใช้งานร่วมกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลัก ๆ ได้อย่างกว้างขวาง ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่เสถียรสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดสูงมาก 0.01% Full Scale ความเสถียรระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ requirements MKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้วัสดุนิกเกิลอัลลอย Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบสมบูรณ์ ทนทานต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดพิเศษจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสื่อกระบวนการที่ระเหยง่ายได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบ etching
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง (thin film deposition), พลาสมาเอทชิง (plasma etching) และการฝังไอออน (ion implantation)
- ตู้ก๊าซ MFC, ระบบปั๊มสุญญากาศ, การตรวจจับการรั่วไหล และระบบอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- โซลาร์ PV, การเคลือบ LED, การประมวลผลสุญญากาศในอุตสาหกรรมยา และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: รองรับ DHL/FedEx/UPS มีการให้หมายเลขติดตาม + ลิงก์หลังจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก