คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสูญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบ capacitance diaphragm ที่ได้รับสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่เป็นอิสระจากชนิดของก๊าซ โดยไม่ถูกรบกวนจากองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการ ถูกใช้งานร่วมกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลักอย่างแพร่หลาย ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีเสถียรภาพสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดพิเศษ 0.01% Full Scale มีเสถียรภาพระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์requirementsMKS.
- Diaphragm และชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือ 316L stainless steel พร้อมโครงสร้างเชื่อมเต็มรูปแบบ ทนต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีการกัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมช่วงตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นให้ความร้อน (45℃ / 100℃ เป็นตัวเลือก) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบ etching
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง, plasma etching และ ion implantation
- ตู้ก๊าซ MFC, ระบบปั๊มสุญญากาศ, การตรวจจับการรั่วไหล และระบบ interlock ความปลอดภัยด้านความดัน
- โซลาร์ PV, การเคลือบ LED, กระบวนการสุญญากาศทางเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: เวลาจัดส่งของสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 business days หลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS มีให้บริการ หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก