คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันแบบสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในเซมิคอนดักเตอร์ อาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบคาปาซิแตนซ์ไดอะแฟรมที่จดสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ โดยไม่ถูกรบกวนจากองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการ เข้ากันได้อย่างกว้างขวางกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลัก ๆ โดยให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีเสถียรภาพสูงมากสำหรับกระบวนการกัด (etching), CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดสูงถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดพิเศษ 0.01% ของ Full Scale ความเสถียรระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดMKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบเต็ม ทนทานต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนส่งมอบ เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมช่วงสุญญากาศละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบมีฮีตเตอร์ (45℃ / 100℃ เป็นตัวเลือก) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: ระบบ AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 สำหรับการกัด
- การควบคุมสุญญากาศอย่างแม่นยำสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดด้วยพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้ก๊าซ MFC ระบบปั๊มสุญญากาศ การตรวจจับการรั่วไหล และระบบอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- โซลาร์เซลล์ PV การเคลือบ LED การประมวลผลสุญญากาศในอุตสาหกรรมเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งผลิตจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก