คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบ capacitance diaphragm ที่จดสิทธิบัตร ทำให้สามารถให้ค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ โดยไม่ถูกรบกวนจากองค์ประกอบของก๊าซในกระบวนการ ใช้งานร่วมกันอย่างแพร่หลายใน AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลัก ๆ ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีเสถียรภาพสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบส่งก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอและเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดสูง 0.01% Full Scale มีความเสถียรระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดMKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L โครงสร้างเชื่อมแบบเต็มรูปแบบ ทนทานต่อก๊าซกระบวนการพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่ว 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อการทำงานที่ปลอดภัยในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (45℃ / 100℃ เลือกได้) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยง่าย เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: ระบบ AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 etching systems
- การควบคุมสุญญากาศอย่างแม่นยำสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้ก๊าซ MFC, ระบบปั๊มสุญญากาศ, การตรวจหารอยรั่ว และระบบอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์, การเคลือบ LED, การแปรรูปสุญญากาศทางเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:Shipping & Tracking
A:DHL/FedEx/UPS available.Tracking number + link provided post-shipment. Full-process monitoring by our team.
Q5:Packaging & Safety
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก