คำอธิบาย:
เครื่องวัดความดัน/สุญญากาศแบบคาปาซิแตนซ์ MKS Baratron เป็นทรานสดิวเซอร์ความดันสัมบูรณ์/สุญญากาศความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยเทคโนโลยีการตรวจจับแบบคาปาซิแตนซ์ไดอะแฟรมที่จดสิทธิบัตร ให้การอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ ไม่ถูกรบกวนจากองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการอย่างสิ้นเชิง ใช้งานร่วมกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลักได้อย่างกว้างขวาง ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีความเสถียรสูงเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดมาก 0.01% ของ Full Scale มีความเสถียรระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดMKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้วัสดุโลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L โครงสร้างแบบเชื่อมทั้งหมด ทนต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมช่วงตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ระบบ AMAT Centura/Endura, ระบบกัดลาย LAM Kiyo/2300
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้จ่ายก๊าซ MFC, ระบบปั๊มสุญญากาศ, การตรวจจับการรั่วไหล และอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์ (Solar PV), การเคลือบ LED, การแปรรูปสุญญากาศในอุตสาหกรรมเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2:What is your payment terms?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุและลิงก์จะถูกส่งหลังการจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามกระบวนการทั้งหมดอย่างใกล้ชิด
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ของแท้ พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก