คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันแบบสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยอาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบ capacitance diaphragm ที่ได้รับสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ได้รับผลกระทบจากองค์ประกอบของก๊าซในกระบวนการ ถูกใช้งานร่วมกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์ชั้นนำอย่างแพร่หลาย ให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีเสถียรภาพสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดมาก 0.01% Full Scale มีเสถียรภาพระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์MKS.
- ส่วนไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบเต็มรูปแบบ ทนต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (45℃ / 100℃ เป็นตัวเลือก) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยง่าย เพื่อลดความคลาดเคลื่อนในการวัด
การประยุกต์ใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบ etching
- การควบคุมสุญญากาศอย่างแม่นยำสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง (thin film deposition), plasma etching และ ion implantation
- ตู้จ่ายก๊าซ MFC, ระบบปั๊มสุญญากาศ, การตรวจจับการรั่วไหล และระบบ interlock ความปลอดภัยด้านความดัน
- โซลาร์ PV, การเคลือบ LED, กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมยา และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราตรวจสอบตลอดกระบวนการ
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก