คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม เป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในเซมิคอนดักเตอร์ อาศัยเทคโนโลยีการตรวจจับไดอะแฟรมแบบคาปาซิแตนซ์ที่จดสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ถูกรบกวนจากองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการ ถูกใช้งานร่วมกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลักอย่างแพร่หลาย โดยให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีเสถียรภาพสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ ช่วยรับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการอย่างสม่ำเสมอ และเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดสูงมาก 0.01% ของ Full Scale มีเสถียรภาพระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดMKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้ Inconel® / Incoloy® nickel alloy หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างแบบเชื่อมทั้งหมด ทนต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนส่งมอบ เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศระดับละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบกัดเซาะ (etching systems)
- การควบคุมสุญญากาศอย่างแม่นยำสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดด้วยพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้จ่ายก๊าซ MFC ระบบปั๊มสุญญากาศ การตรวจจับการรั่วไหล และอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์ (Solar PV), การเคลือบ LED, กระบวนการสุญญากาศทางเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามทุกขั้นตอนโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
บรรจุภัณฑ์แบรนด์ต้นฉบับพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก