คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสุญญากาศ/ความดันสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบแผ่นไดอะแฟรมคาปาซิแตนซ์ที่ได้รับสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันที่ไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ถูกรบกวนโดยองค์ประกอบของก๊าซกระบวนการ เข้ากันได้อย่างกว้างขวางกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์ชั้นนำ มอบการควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีความเสถียรสูงเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ รับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการที่สม่ำเสมอ และช่วยเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดพิเศษ 0.01% ของฟูลสเกล (Full Scale) มีเสถียรภาพระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์MKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสแตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบเต็มรูปแบบ ทนทานต่อก๊าซกระบวนการพิเศษที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่ว 100% ก่อนจัดส่ง เพื่อการใช้งานที่ปลอดภัยในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศละเอียดพิเศษจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยง่ายได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนในการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบ etching
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง (thin film deposition), การกัดด้วยพลาสมา (plasma etching) และการฝังไอออน (ion implantation)
- ตู้ก๊าซ MFC ระบบปั๊มสุญญากาศ การตรวจจับการรั่วไหล และระบบ interlock ความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์ (Solar PV), การเคลือบ LED, กระบวนการสุญญากาศทางเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าใด? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกส่งให้หลังจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามตลอดกระบวนการ
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก