คำอธิบาย:
MKS Baratron capacitance manometers เป็นทรานสดิวเซอร์วัดสูญญากาศ/ความดันแบบสัมบูรณ์ที่มีความแม่นยำสูงระดับพรีเมียม ซึ่งเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อาศัยเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบคาปาซิทีฟไดอะแฟรมที่ได้รับสิทธิบัตร ทำให้สามารถอ่านค่าความดันได้โดยไม่ขึ้นกับชนิดของก๊าซ และไม่ได้รับผลกระทบจากองค์ประกอบของก๊าซในกระบวนการ ใช้งานร่วมกันได้อย่างกว้างขวางกับ AMAT, LAM Research และแพลตฟอร์มการผลิตเวเฟอร์หลักต่าง ๆ โดยให้การควบคุมความดันแบบวงปิดที่มีความเสถียรสูงมากสำหรับกระบวนการ etching, CVD, PVD, ALD และระบบจ่ายก๊าซ รับประกันความแม่นยำของสุญญากาศในห้องกระบวนการที่สม่ำเสมอ และช่วยเพิ่มอัตราผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ความแม่นยำระดับสูงสุดสูงถึง ±0.25% ของค่าที่อ่านได้ ความละเอียดละเอียดมาก 0.01% ของ Full Scale มีความเสถียรระยะยาวยอดเยี่ยมและการดริฟต์ต่ำมาก เพื่อรองรับข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ MKS.
- ไดอะแฟรมและชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหลใช้โลหะผสมนิกเกิล Inconel® / Incoloy® หรือสเตนเลส 316L พร้อมโครงสร้างเชื่อมแบบเต็ม ทนทานต่อก๊าซกระบวนการชนิดพิเศษที่มีการกัดกร่อน ผ่านการทดสอบการรั่วไหล 100% ก่อนส่งมอบ เพื่อการทำงานที่ปลอดภัยในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
- ครอบคลุมตั้งแต่สุญญากาศละเอียดมากไปจนถึงความดันสูง: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA รุ่นแบบให้ความร้อน (ตัวเลือก 45℃ / 100℃) ช่วยป้องกันการควบแน่นของสารกระบวนการที่ระเหยง่ายได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อลดความคลาดเคลื่อนของการวัด
การใช้งาน:
- อุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 ระบบ etching
- การควบคุมสุญญากาศความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การกัดด้วยพลาสมา และการฝังไอออน
- ตู้จ่ายก๊าซ MFC ระบบปั๊มสุญญากาศ การตรวจจับการรั่วไหล และระบบ interlock ความปลอดภัยด้านความดัน
- พลังงานแสงอาทิตย์ PV, การเคลือบ LED, การประมวลผลสุญญากาศในอุตสาหกรรมเภสัชกรรม และการทดสอบสุญญากาศความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งของสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังจัดส่ง มีการติดตามตลอดกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก