คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (เรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์จับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับระบบเซมิคอนดักเตอร์และระบบพลาสมาอุตสาหกรรม โดยจะปรับอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิด RF ให้สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์โหลดที่เปลี่ยนแปลงของห้องพลาสมา, etchers, PECVD และเครื่อง sputtering เพื่อลดกำลังสะท้อนกลับและเพิ่มประสิทธิภาพการส่งผ่านพลังงานสูงสุด มาพร้อมการปรับจูนที่รวดเร็ว, การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และดีไซน์ติดตั้งในแร็คขนาดกะทัดรัด ช่วยให้การจุดพลาสมามีเสถียรภาพ, ประสิทธิภาพกระบวนการสม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิต 24/7 มีจำหน่ายทั้งแบบใหม่, รีเฟอร์บิช และแบบมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างสมบูรณ์
สเปกหลัก:
- การจับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การปรับจูนแบบเรียลไทม์เพื่อจับคู่เอาต์พุตเครื่องกำเนิด 50Ω กับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลง; ลดกำลังสะท้อนกลับ(โดยทั่วไป
- ความเร็วในการปรับจูนสูง: การตอบสนองความเร็วสูง(
- ช่วงความถี่และกำลังไฟกว้าง: รองรับ 13.56MHz(มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรง: ตู้โลหะงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน(ตัวเลือกระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุปรับค่าได้คุณภาพสูง, ตัวเหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์ สำหรับอายุการใช้งานรอบยาว(มากกว่า 1,000,000 รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: RIE/ICP etching, PECVD/LPCVD deposition, plasma ashing, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบ load lock
- การเคลือบสูญญากาศ: sputtering, evaporation, การเคลือบฟิล์มบาง PVD/CVD สำหรับงานออปติก, จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว, การทำความสะอาด, การกัด และการเคลือบสำหรับโลหะ, พลาสติก และเซรามิก
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย, สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการส่ง RF plasma ที่มีเสถียรภาพ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 business days หลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS มีให้บริการ หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5:การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ดั้งเดิมของแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม, กล่องซีล, ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก