คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (เรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์ปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับระบบพลาสมาในอุตสาหกรรมและเซมิคอนดักเตอร์ พวกมันปรับค่าอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของ RF generators ให้สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงได้ของ plasma chambers, etchers, PECVD และ sputtering tools แบบไดนามิก ช่วยลด reflected power และเพิ่มประสิทธิภาพการส่งผ่านพลังงานให้สูงสุด ด้วยการจูนที่รวดเร็ว โครงสร้างป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และดีไซน์แบบติดตั้งแร็คที่กะทัดรัด ทำให้มั่นใจได้ถึงการจุดพลาสมาที่เสถียร ประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิตตลอด 24/7 มีให้เลือกทั้งของใหม่ ของรีเฟอร์บิช และของมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างสมบูรณ์
คุณสมบัติหลัก:
- การปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การจูนแบบเรียลไทม์เพื่อให้เอาต์พุต 50Ω ของ generator ตรงกับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลงได้; ลด reflected power (โดยทั่วไป
- ความเร็วการจูนสูง: การตอบสนองความเร็วสูง (
- ช่วงความถี่และกำลังที่กว้าง: รองรับ 13.56MHz (มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรงทนทาน: ตู้โลหะงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน (มีตัวเลือกระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ส่วนประกอบความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุปรับค่าได้ คอยล์เหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์คุณภาพสูง เพื่ออายุการใช้งานระยะยาว (1,000,000+ รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: RIE/ICP etching, PECVD/LPCVD deposition, plasma ashing, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบ load lock
- การเคลือบสุญญากาศ: sputtering, evaporation, การเคลือบฟิล์มบาง PVD/CVD สำหรับออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาในอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การกัด และการเคลือบสำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการจ่าย RF plasma ที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าเป็นอย่างไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ดั้งเดิมของแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก