คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (เรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์ปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับระบบเซมิคอนดักเตอร์และพลาสมาอุตสาหกรรม โดยจะปรับให้ค่าอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของ RF generators สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงได้ของ plasma chambers, etchers, PECVD และ sputtering tools เพื่อลดกำลังสะท้อนและเพิ่มประสิทธิภาพการส่งผ่านพลังงานสูงสุด มาพร้อมการปรับจูนที่รวดเร็ว การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และดีไซน์แบบ rack-mount ขนาดกะทัดรัด ทำให้มั่นใจได้ถึงการจุดติดพลาสมาที่เสถียร ประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิตตลอด 24/7 มีจำหน่ายทั้งแบบใหม่ แบบรีเฟอร์บิช และแบบมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างครบถ้วน
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- การปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การจูนแบบเรียลไทม์เพื่อให้เอาต์พุต 50Ω ของ generator ตรงกับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลงได้; ลดกำลังสะท้อน (โดยทั่วไป
- ความเร็วในการจูนสูง: การตอบสนองความเร็วสูง (
- ช่วงความถี่และกำลังที่รองรับกว้าง: รองรับ 13.56MHz (มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; กำลังไฟตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรง: ตู้โลหะงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน (มีตัวเลือกแบบระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุแบบปรับค่าได้คุณภาพสูง ตัวเหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์ เพื่ออายุการใช้งานยาวนาน (>1,000,000 รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: RIE/ICP etching, PECVD/LPCVD deposition, plasma ashing, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบ load lock
- การเคลือบแบบสุญญากาศ: Sputtering, evaporation, PVD/CVD การเคลือบฟิล์มบางสำหรับออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การกัด และการเคลือบสำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการส่งมอบ RF plasma ที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS พร้อมให้บริการ หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก