คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (หรือเรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์จับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับระบบพลาสมาในอุตสาหกรรมและเซมิคอนดักเตอร์ โดยสามารถปรับอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิด RF ให้เข้ากับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงของห้องพลาสมา, etchers, PECVD และอุปกรณ์ sputtering เพื่อลดกำลังสะท้อนและเพิ่มประสิทธิภาพการถ่ายโอนพลังงานสูงสุด ด้วยการจูนที่รวดเร็ว การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และดีไซน์ติดตั้งในแร็คที่กะทัดรัด ทำให้มั่นใจได้ถึงการจุดติดพลาสมาที่เสถียร ประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิต 24/7 มีให้เลือกทั้งสภาพใหม่ รีเฟอร์บิช และมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างสมบูรณ์
คุณสมบัติหลัก:
- การปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การจูนแบบเรียลไทม์เพื่อจับคู่เอาต์พุตของเครื่องกำเนิด 50Ω กับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลง; ลดกำลังสะท้อน(โดยทั่วไป
- ความเร็วการจูนที่รวดเร็ว: การตอบสนองความเร็วสูง(
- ช่วงความถี่และกำลังไฟกว้าง: รองรับ 13.56MHz(standard), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังไฟตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรงทนทาน: โครงโลหะงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน(ตัวเลือกระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุแบบปรับค่าได้คุณภาพสูง คอยล์เหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์ สำหรับอายุการใช้งานรอบยาว(1,000,000+ cycles)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: RIE/ICP etching, PECVD/LPCVD deposition, plasma ashing, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบ load lock
- การเคลือบสุญญากาศ: sputtering, evaporation, PVD/CVD thin-film deposition สำหรับออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การกัด และการเคลือบ สำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- งานวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการจ่าย RF พลาสมาที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะสินค้าคืออะไร และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมของเรา
Q5: การบรรจุและความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก