คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (หรือเรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์ปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับระบบเซมิคอนดักเตอร์และพลาสมาอุตสาหกรรม พวกมันปรับให้ค่าอิมพีแดนซ์ขาออก 50Ω ของเครื่องกำเนิด RF สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงของห้องพลาสมา เครื่อง etchers, PECVD และอุปกรณ์ sputtering ช่วยลดกำลังสะท้อนกลับและเพิ่มประสิทธิภาพการส่งกำลังสูงสุด ด้วยการปรับจูนที่รวดเร็ว การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และการออกแบบแบบติดตั้งแร็คขนาดกะทัดรัด ทำให้การจุดติดพลาสมามีเสถียรภาพ ประสิทธิภาพกระบวนการสม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิตตลอด 24/7 มีจำหน่ายทั้งของใหม่ ของรีเฟอร์บิช และของมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างเต็มรูปแบบ
คุณสมบัติหลัก:
- การปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การจูนแบบเรียลไทม์เพื่อให้เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิดตรงกับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่แปรผัน; ลดกำลังสะท้อนกลับ (โดยทั่วไป
- ความเร็วในการจูนที่รวดเร็ว: การตอบสนองความเร็วสูง (
- การครอบคลุมความถี่และกำลังไฟกว้าง: รองรับ 13.56MHz (มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรงทนทาน: โครงโลหะงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน (ตัวเลือกระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุแบบปรับค่าได้คุณภาพสูง คอยล์เหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์ สำหรับอายุการใช้งานรอบยาว (มากกว่า 1,000,000 รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: การกัดด้วย RIE/ICP, การเคลือบ PECVD/LPCVD, การทำความสะอาดด้วยพลาสมา, การเผา (ashing) เวเฟอร์, ระบบโหลดล็อก
- การเคลือบสุญญากาศ: การสปัตเตอริง การระเหย การเคลือบฟิล์มบาง PVD/CVD สำหรับออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การกัด และการเคลือบสำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องแล็บมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการจ่าย RF พลาสมาที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการแบบครบถ้วน
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องซีล ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก