คำอธิบาย:
MKS RF Matchers (หรือเรียกอีกอย่างว่า RF matching boxes/networks) เป็นอุปกรณ์ปรับอิมพีแดนอัตโนมัติประสิทธิภาพสูง ที่ออกแบบมาสำหรับระบบเซมิคอนดักเตอร์และพลาสมาอุตสาหกรรม โดยจะปรับอิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิด RF ให้สอดคล้องกับอิมพีแดนซ์ที่เปลี่ยนแปลงได้ของห้องพลาสมา เครื่อง etchers, PECVD และเครื่อง sputtering เพื่อลดพลังงานสะท้อนและเพิ่มประสิทธิภาพการส่งผ่านพลังงานให้สูงสุด มาพร้อมการปรับจูนที่รวดเร็ว การป้องกันสัญญาณรบกวนที่แข็งแรง และการออกแบบแบบติดตั้งแร็คที่กะทัดรัด ทำให้มั่นใจได้ถึงการจุดติดพลาสมาที่เสถียร ประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และความน่าเชื่อถือในการผลิตตลอด 24/7 มีให้เลือกทั้งแบบใหม่ แบบรีเฟอร์บิช และแบบมือสองที่ผ่านการทดสอบอย่างสมบูรณ์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- การปรับอิมพีแดนซ์อัตโนมัติ: การปรับจูนแบบเรียลไทม์เพื่อให้เอาต์พุต 50Ω ของเครื่องกำเนิดตรงกับอิมพีแดนซ์โหลดพลาสมาที่เปลี่ยนแปลงได้; ลดพลังงานสะท้อน (โดยทั่วไป
- ความเร็วในการปรับจูนสูง: การตอบสนองความเร็วสูง (
- ช่วงความถี่และกำลังไฟที่ครอบคลุม: รองรับ 13.56MHz (มาตรฐาน), 27.12MHz, 40.68MHz; ระดับกำลังไฟตั้งแต่ 300W ถึง 10kW
- โครงสร้างแข็งแรง: ตู้โลหะแบบงานหนักพร้อมการป้องกัน EMI/RFI; ระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐาน (มีตัวเลือกแบบระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับรุ่นกำลังสูง)
- ชิ้นส่วนความแม่นยำสูง: ตัวเก็บประจุแบบปรับค่าได้คุณภาพสูง คอยล์เหนี่ยวนำ และมอเตอร์สเต็ปเปอร์ สำหรับอายุการใช้งานรอบยาว (มากกว่า 1,000,000+ รอบ)
การใช้งาน:
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: RIE/ICP etching, PECVD/LPCVD deposition, plasma ashing, การทำความสะอาดเวเฟอร์, ระบบ load lock
- การเคลือบแบบสุญญากาศ: Sputtering, evaporation, การเคลือบฟิล์มบางแบบ PVD/CVD สำหรับออปติก จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์
- การบำบัดพลาสมาอุตสาหกรรม: การกระตุ้นพื้นผิว การทำความสะอาด การ etching และการเคลือบ สำหรับโลหะ พลาสติก และเซรามิก
- การวิจัยและพัฒนา: ห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และสายการผลิตนำร่องที่ต้องการการจ่าย RF พลาสมาที่เสถียร
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 business days หลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามทุกขั้นตอนโดยทีมงานของเรา
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ต้นฉบับพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก