คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดเชิงแสงความแม่นยำสูงที่รวมเข้ากับเครื่องมือสำหรับกระบวนการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งสัญญาณผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของการกัด (etch endpoint detection) การวัดฟิล์มบาง (thin film metrology) และการตรวจสอบสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้กระบวนการมีความเสถียร เพิ่มผลผลิต และลดชิ้นงานเสียในกระบวนการ etching, CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่รองรับ OEM ดั้งเดิม มีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการ LAM แบบเต็มซีรีส์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล หัวโพรบที่ใช้ในสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดของการกัดแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึงได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- พอร์ตการสื่อสารในตัวแบบ Ethernet และ RS-232 รองรับการทำงานร่วมกับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM ได้อย่างเต็มรูปแบบ เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างไร้รอยต่อ
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถป้องกันการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และสามารถเปลี่ยนหน้างานได้ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา, CVD, PVD และอุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามตลอดกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก