คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบทางแสงความแม่นยำสูง ที่ผสานรวมสำหรับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพเป็นหลัก ใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อจับสเปกตรัมการปล่อยพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการกัด (etch endpoint detection) การวัดเมตริกฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้ประสิทธิภาพกระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มอัตราผลผลิต และลดผลิตภัณฑ์เสียในกระบวนการกัด CVD PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่รองรับ OEM ดั้งเดิม มีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการ LAM ซีรีส์เต็ม
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-Visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้ว SMA มาตรฐานรองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสภาวะสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดมากเกินไปและน้อยเกินไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- พอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว รองรับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM อย่างเต็มรูปแบบเพื่อการเชื่อมต่อข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถในการป้องกันการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและค่าการสะท้อนแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: รองรับ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก