คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดแสงความแม่นยำสูงที่ผสานรวมสำหรับอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการเอทช์ (etch endpoint detection) การวัดเมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ หน่วยเหล่านี้ช่วยให้ประสิทธิภาพกระบวนการเสถียร เพิ่มผลผลิตการผลิต และลดผลิตภัณฑ์เสียในกระบวนการเอทช์ CVD PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้แบบ OEM ดั้งเดิม มีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการ LAM ทุกรุ่น
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซไฟเบอร์ SMA มาตรฐานรองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการเอทช์แม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสงอย่างมีประสิทธิภาพ หลีกเลี่ยงการเอทช์เกินและขาด
- พอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้เต็มรูปแบบกับโปรโตคอลอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบที่ราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถต้านการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา CVD PVD และ ALD สำหรับการสะสมฟิล์มบาง
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS มีให้บริการ หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามตลอดกระบวนการ
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก