คำอธิบาย:
เครื่องสเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบแสงความแม่นยำสูงที่ผสานรวมสำหรับอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักแล้วจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อจับสเปกตรัมการปล่อยพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ใช้งานอย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้ประสิทธิภาพกระบวนการมีความเสถียร เพิ่มผลผลิต และลดผลิตภัณฑ์เสียในกระบวนการกัด, CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้กับ OEM ดั้งเดิม มีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการซีรีส์เต็มของ LAM Research
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วนำแสง SMA มาตรฐานรองรับการส่งสัญญาณระยะไกล หัววัดที่เข้ากันได้กับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึง
- มีพอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับโปรโตคอลอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและทนทาน พร้อมความสามารถป้องกันการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดด้วยพลาสมา, อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: ของแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: เวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมของเรา
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนต่อความชื้นและแรงกระแทก