คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบเชิงแสงที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งถูกรวมเข้ากับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักแล้วจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ และใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการเปล่งแสงของพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของกระบวนการกัด การวัดฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ หน่วยเหล่านี้ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพกระบวนการที่เสถียร เพิ่มผลผลิตการผลิต และลดผลิตภัณฑ์ที่มีข้อบกพร่องในกระบวนการกัด CVD PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้แบบ OEM ดั้งเดิม พวกมันมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือในระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการซีรีส์เต็มของ LAM Research
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วนำแสงมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่ใช้งานร่วมกับสภาวะสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้สามารถตัดสินจุดสิ้นสุดของการกัดได้อย่างแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและการกัดไม่พอได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- พอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถในการป้องกันการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและค่าการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามและลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามแบบครบกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิม พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก