คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดเชิงแสงความแม่นยำสูงที่ผสานรวมสำหรับอุปกรณ์กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักแล้วจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยแสงพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการกัด (etch endpoint detection) การวัดฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้กระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มผลผลิต และลดของเสียในกระบวนการกัด (etching), CVD, PVD และกระบวนการผลิตแบบสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วน OEM ที่เข้ากันได้ดั้งเดิม พวกมันมีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือในระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการตระกูลเต็มของ LAM
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วนำแสงมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสงอย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึง
- มีพอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับโปรโตคอลอุปกรณ์ของ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมต่อระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรง ทนต่อการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา, อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าเป็นเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังจัดส่ง มีการตรวจสอบตลอดกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก