คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดทางแสงความแม่นยำสูง ที่ถูกรวมเข้ากับเครื่องมือสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งสัญญาณผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้กระบวนการมีความเสถียร เพิ่มอัตราผลผลิต และลดของเสียในกระบวนการกัด CVD PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้กับ OEM ดั้งเดิม จึงมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการตระกูล LAM ทั้งหมด
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-Visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้ว SMA มาตรฐานรองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่ใช้งานร่วมกับสุญญากาศสามารถทำงานได้อย่างเสถียรในสภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึงได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- มีพอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมต่อระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรง ทนต่อแรงสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานได้อย่างง่ายดาย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา, อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
ตอบ: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
ตอบ: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
ตอบ: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
ตอบ: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
ตอบ: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก