คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบแสงความแม่นยำสูงที่ถูกรวมเข้ากับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านด้วยใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยแสงพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการกัด (etch endpoint), การวัดฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพกระบวนการที่เสถียร เพิ่มอัตราผลผลิต และลดผลิตภัณฑ์เสียในกระบวนการกัด (etching), CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้กับ OEM ดั้งเดิม จึงมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการซีรีส์เต็มของ LAM
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วนำแสงมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสงได้อย่างถูกต้อง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดมากเกินไปและน้อยเกินไปอย่างมีประสิทธิภาพ
- มีพอร์ตการสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมต่อระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรง ทนต่อแรงสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมา, อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและค่าการสะท้อนแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามตลอดกระบวนการ
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริม (โฟม, กล่องปิดผนึก, ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก