คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดแสงความแม่นยำสูงที่ผสานรวมสำหรับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยมักจับคู่กับโมดูลออปติกระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งสัญญาณผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยแสงของพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการเฝ้าติดตามสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้ประสิทธิภาพกระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มอัตราผลผลิต และลดผลิตภัณฑ์เสียในกระบวนการกัด CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่รองรับ OEM ของแท้ พวกมันมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการ LAM ทุกรุ่น
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-มองเห็น เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วมาตรฐานแบบ SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดของการกัดแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึง
- มีพอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว รองรับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM อย่างเต็มรูปแบบเพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบที่ราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถป้องกันการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดด้วยพลาสมา CVD, PVD และอุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งของผลิตภัณฑ์คือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นหายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามตลอดกระบวนการ
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ต้นฉบับพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) กันความชื้นและแรงกระแทก