คำอธิบาย:
เครื่องสเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดเชิงแสงความแม่นยำสูงที่รวมเข้ากับเครื่องจักรประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยแสงของพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดของการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของกระบวนการ ปรับปรุงอัตราผลผลิต และลดชิ้นงานเสียในกระบวนการกัด (etching), CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้แบบ OEM ดั้งเดิม มีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการซีรีส์เต็มของ LAM
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ที่มีความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-Visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดของการกัดแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดมากเกินไปและน้อยเกินไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- พอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว เข้ากันได้อย่างเต็มที่กับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM สำหรับการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างไร้รอยต่อ
- โครงสร้างกะทัดรัดและทนทาน พร้อมความสามารถต้านการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานได้ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมา, อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแสงแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- แพลตฟอร์มกระบวนการหลัก LAM Research 2300, 9400, ExAL และอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุและลิงก์จะถูกส่งหลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก