คำอธิบาย:
เครื่องสเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบเชิงแสงความแม่นยำสูงที่ถูกรวมเข้ากับอุปกรณ์กระบวนการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยส่วนใหญ่จับคู่กับโมดูลออปติกระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านด้วยใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการเปล่งแสงของพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ หน่วยเหล่านี้ช่วยให้ประสิทธิภาพกระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มผลผลิต และลดชิ้นงานเสียในกระบวนการ etching, CVD, PVD และกระบวนการผลิตแบบสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่รองรับ OEM ดั้งเดิม พวกมันมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการซีรีส์เต็มของ LAM
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับความไวสูง CCD/PMT ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วนำแสงมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่เข้ากันได้กับสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและกัดไม่ถึงอย่างมีประสิทธิภาพ
- พอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว รองรับโปรโตคอลอุปกรณ์ LAM อย่างเต็มรูปแบบเพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมต่อระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรง ทนต่อการสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานได้ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดด้วยพลาสมา, CVD, PVD และ ALD อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณเป็นอย่างไร?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตาม
A:DHL/FedEx/UPS พร้อมให้บริการ มีการให้หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามตลอดกระบวนการ
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก