คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดเชิงแสงความแม่นยำสูงที่ถูกรวมเข้ากับเครื่องมือสำหรับกระบวนการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักจะทำงานร่วมกับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ ใช้การออกแบบการส่งผ่านด้วยใยแก้วนำแสงเพื่อจับสเปกตรัมการแผ่รังสีของพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายในการตรวจจับจุดสิ้นสุดการกัด (etch endpoint detection) เมโทรโลยีฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาวะพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้กระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มอัตราผลผลิต และลดชิ้นงานเสียในกระบวนการ etching, CVD, PVD และกระบวนการผลิตสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วน OEM ดั้งเดิมที่เข้ากันได้ พวกมันมีความเข้ากันได้ยอดเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการตระกูล LAM ทั้งหมด
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น UV-visible เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วมาตรฐานแบบ SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสุญญากาศสามารถทำงานได้อย่างเสถียรในสภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้การตัดสินจุดสิ้นสุดการกัดมีความแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการกัดเกินและการกัดไม่ถึงได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- มีพอร์ตสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว รองรับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM อย่างเต็มรูปแบบเพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างไร้รอยต่อ
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถป้องกันแรงสั่นสะเทือนและการรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมา, อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการกัดเวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มกระบวนการหลักอื่น ๆ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS ให้เลือก หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามทุกขั้นตอนโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก