คำอธิบาย:
แผงควบคุมอุณหภูมิ Lam Research เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบการกัดเซมิคอนดักเตอร์ การสะสมชั้นฟิล์ม และระบบประมวลผลเวเฟอร์ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ หัวจับไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบให้ทำงานตลอด 24/7 ในสภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา ช่วยให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิคงที่ ทำให้สูตรกระบวนการมีเสถียรภาพ และเพิ่มผลผลิตการผลิตสูงสุด แผง OEM ของ Lam แท้รับประกันความเข้ากันได้แบบเสียบใช้งานได้ทันที การสอบเทียบที่แม่นยำ และความเชื่อถือได้ระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์โหนดขั้นสูง (2nm/3nm)
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดประกอบ PCB ของ Lam Research แท้ ดั้งเดิม เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องกัด Kiyo แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการสอบเทียบจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- การควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); การตอบสนองจากเซ็นเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; ชดเชยการลอยของสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซ็นเซอร์
- รองรับสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), ป้องกันสัญญาณรบกวน EMI, ทนการสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือที่ 0–55°C พร้อมภูมิคุ้มกันต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- ดีไซน์แบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนขณะทำงานได้ (hot-swappable) สำหรับการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยในตัวสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซ็นเซอร์ และบันทึกข้อขัดข้อง; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผน
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมา Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิตลอจิก/หน่วยความจำขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าของแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราตรวจสอบตลอดกระบวนการ
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแบรนด์ต้นฉบับพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก