คำอธิบาย:
Lam Research Temperature Control Board เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบเซมิคอนดักเตอร์ etch, deposition และ wafer processing ระบบ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้ง process chambers, electrostatic chucks (ESCs) และ wafer stages ออกแบบมาสำหรับการทำงานตลอด 24/7 ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา ช่วยให้มั่นใจว่าอุณหภูมิของเวเฟอร์คงที่ สร้างเสถียรภาพให้กับ process recipes และเพิ่มผลผลิตการผลิตสูงสุด บอร์ด Lam OEM ของแท้รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การคาลิเบรตที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ advanced-node (2nm/3nm)
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ชุดประกอบ PCB ของแท้จาก Lam Research รองรับการใช้งานร่วมกันได้อย่างเต็มรูปแบบกับเครื่อง Kiyo etchers, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการคาลิเบรตจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 channels (Pt100 RTD/thermocouple inputs); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- การควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ความเย็น (รองรับ TEC); ป้อนกลับเซนเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; ชดเชยการเปลี่ยนแปลงสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซนเซอร์
- รองรับสภาวะสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), มีการป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือที่ 0–55°C พร้อมความทนทานต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- ดีไซน์แบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนได้แบบ hot-swappable เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยบนบอร์ดสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซนเซอร์ และการบันทึกข้อขัดข้อง; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผน
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบ plasma etching ของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิต logic/memory ขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนอะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3:ระยะเวลาในการจัดส่งของผลิตภัณฑ์คือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งผลิตจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการตรวจสอบกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก