คำอธิบาย:
แผงควบคุมอุณหภูมิ Lam Research เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับกระบวนการแกะสลัก (etch), การเคลือบ (deposition) และระบบประมวลผลเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ (process chambers), หัวจับไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบสำหรับการทำงานตลอด 24/7 ในสภาพแวดล้อมสูญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา ช่วยให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิคงที่ สร้างเสถียรภาพให้กับสูตรกระบวนการ และเพิ่มผลผลิตการผลิตสูงสุด บอร์ด OEM แท้ของ Lam รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การสอบเทียบที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ระดับโหนดขั้นสูง (2nm/3nm)
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดประกอบ PCB ของ Lam Research ของแท้ เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่อง etchers รุ่น Kiyo, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการสอบเทียบจากโรงงานและทดสอบเพื่อการบูรณาการที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/thermocouple); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- ระบบควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); การป้อนกลับจากเซ็นเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; ชดเชยการเปลี่ยนแปลงสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซ็นเซอร์
- รองรับสภาวะสูญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), ป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเสถียรที่ 0–55°C พร้อมความทนทานต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- การออกแบบแบบโมดูลาร์ที่สามารถถอดเปลี่ยนขณะทำงาน (hot-swappable) เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยในตัวสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซ็นเซอร์ และการบันทึกข้อผิดพลาด; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบ plasma etching ของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์เคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200 มม. / 300 มม. และ ESCs
- โรงงานผลิตลอจิก/เมมโมรีขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนอะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าใด? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกส่งหลังการจัดส่ง มีการติดตามทุกขั้นตอนโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก