คำอธิบาย:
Lam Research Temperature Control Board เป็นชิ้นส่วนหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบกัด (etch), การเคลือบ (deposition) และกระบวนการเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ หัวจับไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบสำหรับการทำงานตลอด 24/7 ในสภาพสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมที่มีพลาสมา ช่วยให้อุณหภูมิเวเฟอร์คงที่ สร้างเสถียรภาพให้สูตรกระบวนการ และเพิ่มอัตราผลผลิตสูงสุด แผง OEM แท้จาก Lam รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การสอบเทียบที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์โหนดขั้นสูง (2nm/3nm)
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดแผงวงจร PCB ของ Lam Research แท้ เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่อง Kiyo etchers, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการปรับเทียบจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- ระบบควบคุมแบบปิดวงจรสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); ฟีดแบ็กเซ็นเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; ชดเชยการเปลี่ยนแปลงสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซ็นเซอร์
- รองรับสภาพสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), มีการป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเชื่อถือได้ที่ 0–55°C พร้อมความทนทานต่อการรบกวนจากพลาสมาและ RF
- การออกแบบแบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนขณะทำงานได้ (hot-swappable) เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยในตัวสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซ็นเซอร์ และการบันทึกข้อผิดพลาด; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบ plasma etching ของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิตลอจิก/หน่วยความจำขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก