คำอธิบาย:
บอร์ดควบคุมอุณหภูมิ Lam Research เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบการกัด (etch), การเคลือบ (deposition) และการประมวลผลเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ, electrostatic chucks (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบมาเพื่อการทำงาน 24/7 ในสภาพแวดล้อมสูญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา ช่วยให้มั่นใจว่าอุณหภูมิเวเฟอร์คงที่ สเตบิไลซ์สูตรกระบวนการ และเพิ่มผลผลิตการผลิตสูงสุด บอร์ด OEM ของ Lam แท้รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การปรับเทียบที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์เทคโนโลยีขั้นสูง (2nm/3nm)
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ชุดประกอบ PCB ของ Lam Research แท้ดั้งเดิม เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องกัด Kiyo, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการปรับเทียบจากโรงงานและทดสอบแล้วเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับอัตโนมัติ
- การควบคุมแบบวงปิด (closed-loop) สำหรับการทำความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); มีฟีดแบ็กเซนเซอร์แบบเรียลไทม์ที่ความถี่ 500Hz; ชดเชยการ drift ของสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซนเซอร์
- รองรับสภาวะสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), ป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเสถียรที่ 0–55°C พร้อมความสามารถต้านทานการรบกวนจากพลาสมาและ RF
- ดีไซน์แบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนได้ขณะทำงาน (hot-swappable) เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; มีระบบวินิจฉัยบนบอร์ดสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซนเซอร์ และบันทึกข้อผิดพลาด ช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมาของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิตลอจิก/เมมโมรีขั้นสูง (เทคโนโลยี 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อแจ้งระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุและลิงก์จะถูกส่งให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก