คำอธิบาย:
Lam Research Temperature Control Board เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ (etch), การเคลือบ (deposition) และการประมวลผลเวเฟอร์ (wafer processing) ให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ, แผ่นยึดไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบสำหรับการทำงาน 24/7 ในสภาวะสุญญากาศสูง, อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา ช่วยให้อุณหภูมิเวเฟอร์คงที่, ทำให้สูตรกระบวนการมีเสถียรภาพ และเพิ่มอัตราผลผลิตสูงสุด แผง OEM ของแท้จาก Lam รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play, การคาลิเบรตที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์เทคโนโลยีโหนดขั้นสูง (2nm/3nm).
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดแผงวงจร PCB ของ Lam Research ของแท้ เข้ากันได้อย่างเต็มรูปแบบกับเครื่องกัด Kiyo, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการคาลิเบรตจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/thermocouple); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- ควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); การป้อนกลับจากเซนเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; ชดเชยการเปลี่ยนแปลงสภาพแวดล้อมและความล่าช้าของเซนเซอร์
- รองรับสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), มีการป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเสถียรที่ 0–55°C พร้อมภูมิคุ้มกันต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- ออกแบบแบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนแบบ hot-swappable เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยในตัวสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซนเซอร์ และการบันทึกข้อขัดข้อง; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบ plasma etching ของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200 มม. / 300 มม. และ ESCs
- โรงงานผลิตชิปตรรกะ/หน่วยความจำขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนอะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าเป็นเท่าใด? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:DHL/FedEx/UPS มีให้บริการ หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก