คำอธิบาย:
Lam Research Temperature Control Board เป็นคอมโพเนนต์หลักสำหรับการจัดการความร้อนในระบบการกัด (etch), การเคลือบ (deposition) และการประมวลผลเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ หัวจับไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบสำหรับการทำงาน 24/7 ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา เพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิเวเฟอร์คงที่ สร้างเสถียรภาพให้สูตรกระบวนการ และเพิ่มอัตราผลผลิตการผลิตให้สูงสุด แผง OEM ของ Lam ของแท้รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การคาลิเบรตที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์เทคโนโลยีขั้นสูง (2nm/3nm)
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ชุดแผงวงจร PCB ของ Lam Research ของแท้ เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องกัด Kiyo, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการคาลิเบรตจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- ระบบควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); การป้อนกลับเซนเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; พร้อมการชดเชยการเลื่อนของสภาพแวดล้อมและความล่าช้าของเซนเซอร์
- รองรับสภาวะสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), มีการป้องกัน EMI และทนต่อการสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเชื่อถือได้ที่ 0–55°C พร้อมภูมิคุ้มกันต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- ดีไซน์แบบโมดูลาร์ ถอดเปลี่ยนขณะทำงานได้ (hot-swappable) สำหรับการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยบนบอร์ดสำหรับอุณหภูมิ สภาพเซนเซอร์ และการบันทึกข้อขัดข้อง; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผน
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดด้วยพลาสมาของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิตลอจิก/หน่วยความจำขั้นสูง (โหนด 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS โดยจะให้หมายเลขติดตาม + ลิงก์หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก