คำอธิบาย:
Lam Research Temperature Control Board เป็นองค์ประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบการกัด (etch), การเคลือบ (deposition) และการประมวลผลเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่ควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ, electrostatic chucks (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบให้ทำงานตลอด 24/7 ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา ช่วยให้ควบคุมอุณหภูมิเวเฟอร์ได้อย่างสม่ำเสมอ ทำให้สูตรกระบวนการมีเสถียรภาพ และเพิ่มอัตราผลผลิต ชิ้นส่วนแท้ Lam OEM รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การปรับเทียบที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์เทคโนโลยีขั้นสูง (2nm/3nm)
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดประกอบ PCB ของ Lam Research ของแท้ รองรับการใช้งานร่วมกับเครื่อง Kiyo etchers, ExAL platforms และระบบ CVD/PVD ได้อย่างเต็มรูปแบบ ผ่านการปรับเทียบจากโรงงานและทดสอบเพื่อการบูรณาการที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); คงความเสถียร ±0.1°C ในช่วงอุณหภูมิ 25–150°C ด้วยอัลกอริทึม PID แบบปรับอัตโนมัติ
- ระบบควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/การทำความเย็น (รองรับ TEC); การตอบสนองจากเซ็นเซอร์แบบเรียลไทม์ที่ 500Hz; มีการชดเชย drift ของสภาพแวดล้อมและความล่าช้าของเซ็นเซอร์
- รองรับสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), ป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเสถียรที่ 0–55°C พร้อมภูมิคุ้มกันต่อพลาสมาและสัญญาณรบกวน RF
- ออกแบบแบบโมดูลาร์ เปลี่ยนได้แบบ hot-swappable เพื่อการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยบนบอร์ดสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซ็นเซอร์ และการบันทึกข้อผิดพลาด; ลดเวลาหยุดเครื่องที่ไม่คาดคิด
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมาของ Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานผลิตชิปโลจิก/หน่วยความจำขั้นสูง (เทคโนโลยี 2nm/3nm)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งของสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:รองรับ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5:การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์แท้พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก