คำอธิบาย:
แผงควบคุมอุณหภูมิ Lam Research เป็นส่วนประกอบหลักด้านการจัดการความร้อนสำหรับระบบการกัดเซมิคอนดักเตอร์ (etch), การสะสมชั้นฟิล์ม (deposition) และระบบประมวลผลเวเฟอร์ โดยให้การควบคุมอุณหภูมิแบบหลายช่องสัญญาณที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอย่างเข้มงวดทั่วทั้งห้องกระบวนการ (process chambers), แท่นยึดเวเฟอร์ไฟฟ้าสถิต (ESCs) และแท่นเวเฟอร์ ออกแบบสำหรับการทำงานตลอด 24/7 ในสภาวะสูญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อมพลาสมา ช่วยให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิคงที่ กระบวนการผลิตมีเสถียรภาพ และเพิ่มผลผลิตสูงสุด แผง OEM แท้ของ Lam รับประกันความเข้ากันได้แบบ plug-and-play การสอบเทียบที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ระดับ advanced-node (2nm/3nm)
คุณสมบัติหลัก:
- ชุดประกอบ PCB แท้จาก Lam Research เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องกัด Kiyo, แพลตฟอร์ม ExAL และระบบ CVD/PVD ผ่านการสอบเทียบจากโรงงานและทดสอบเพื่อการผสานรวมที่ราบรื่น
- รองรับ 16–24 ช่องสัญญาณ (อินพุต Pt100 RTD/เทอร์โมคัปเปิล); ให้ความเสถียร ±0.1°C ในช่วง 25–150°C ผ่านอัลกอริทึม PID แบบปรับจูนอัตโนมัติ
- การควบคุมแบบวงปิดสำหรับการให้ความร้อน/ทำความเย็น (รองรับ TEC); การป้อนกลับจากเซนเซอร์แบบเรียลไทม์ด้วยการสุ่มตัวอย่าง 500Hz; การชดเชยการลอยตัวของสภาพแวดล้อมและความหน่วงของเซนเซอร์
- รองรับสภาวะสุญญากาศ (≤1×10⁻⁶ Torr), มีการป้องกัน EMI, ทนต่อแรงสั่นสะเทือน; ทำงานได้อย่างเชื่อถือได้ที่ 0–55°C พร้อมความทนทานต่อการรบกวนจากพลาสมาและ RF
- ออกแบบแบบโมดูลาร์ เปลี่ยนขณะทำงานได้ (hot-swappable) สำหรับการเปลี่ยนที่รวดเร็ว; ระบบวินิจฉัยบนบอร์ดสำหรับอุณหภูมิ สุขภาพเซนเซอร์ และการบันทึกข้อขัดข้อง; ลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผน
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมา Lam Research (Kiyo, ExAL, ซีรีส์ 9000)
- อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง CVD/PVD/ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm และ ESCs
- โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ logic/memory ระดับสูง (2nm/3nm nodes)
- การบำรุงรักษาโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อะไหล่ และการอัปเกรด
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก