คำอธิบาย:
ชิ้นส่วนอิเล็กโทรดและฉนวนของ Lam Research เป็นวัสดุสิ้นเปลืองและส่วนประกอบโครงสร้างที่มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์การกัดเซมิคอนดักเตอร์ (etching), การเคลือบฟิล์ม (deposition) และการประมวลผลพลาสมา อิเล็กโทรดทำหน้าที่สร้างและรักษาพลาสมาที่มีเสถียรภาพสำหรับการผลิตเวเฟอร์ ในขณะที่ฉนวนประสิทธิภาพสูงทำหน้าที่แยกวงจรและส่วนประกอบเพื่อป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า การอาร์ค และการลัดวงจร ผลิตจากวัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง ชิ้นส่วนเหล่านี้มีคุณสมบัติด้านความต้านทานไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม เสถียรภาพทางความร้อน และความต้านทานต่อการสึกกร่อนจากพลาสมา ทำงานได้อย่างเชื่อถือภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อม RF ที่รุนแรง ช่วยให้การทำงานของห้องกระบวนการมีเสถียรภาพในระยะยาวและให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอ รายการทั้งหมดเป็นชิ้นส่วน OEM ของแท้ที่มีความเข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์ของ Lam Research
คุณสมบัติหลัก:
- ใช้วัสดุตัวนำความบริสุทธิ์สูงสำหรับอิเล็กโทรด และเซรามิก/ควอตซ์เกรดสูงสำหรับฉนวน ให้ความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาได้อย่างยอดเยี่ยม
- อิเล็กโทรดช่วยให้การกระจายพลาสมาเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ ส่วนฉนวนให้ความแข็งแรงในการเป็นฉนวนที่เหนือกว่า เพื่อหลีกเลี่ยงความผิดพลาดจากการคายประจุและความเสียหายของอุปกรณ์
- ทนต่ออุณหภูมิสูง การช็อกทางความร้อน และความเค้นเชิงกล โดยคงขนาดที่แม่นยำและประสิทธิภาพระหว่างการทำงานต่อเนื่อง 24/7
- ผ่านการกลึงด้วยค่าความคลาดเคลื่อนที่แคบ ตรงตามโครงสร้างของอุปกรณ์ดั้งเดิมอย่างสมบูรณ์ เพื่อการติดตั้งที่ไร้รอยต่อและผลลัพธ์กระบวนการที่เสถียร
- ใช้งานร่วมกันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่อง etcher ของ Lam, ระบบ CVD, PVD และระบบสุญญากาศที่เกี่ยวข้อง เปลี่ยนได้ง่ายเพื่อลดเวลาหยุดการผลิต
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมาของ Lam Research
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบางแบบ CVD, PVD และ ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ขนาด 200 มม. / 300 มม.
- การบำรุงรักษาสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการเปลี่ยนอะไหล่
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีสินค้าพร้อมส่ง จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—โปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:รองรับ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกส่งหลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนต่อความชื้นและแรงกระแทก