คำอธิบาย:
ชิ้นส่วนอิเล็กโทรดและฉนวนของ Lam Research เป็นวัสดุสิ้นเปลืองและส่วนประกอบโครงสร้างที่สำคัญสำหรับอุปกรณ์การกัดเซมิคอนดักเตอร์ (etching), การเคลือบฟิล์มบาง (deposition) และการประมวลผลพลาสมา อิเล็กโทรดทำหน้าที่สร้างและรักษาพลาสมาที่เสถียรสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ ขณะที่ฉนวนประสิทธิภาพสูงช่วยแยกวงจรและส่วนประกอบเพื่อป้องกันการรั่วไหลของไฟฟ้า การเกิดอาร์ก และการลัดวงจร ผลิตจากวัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง ชิ้นส่วนเหล่านี้มีคุณสมบัติด้านความต้านทานไฟฟ้าสูง เสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม และความทนทานต่อการสึกกร่อนจากพลาสมา สามารถทำงานได้อย่างเชื่อถือภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อม RF ที่รุนแรง ช่วยให้การทำงานของห้องกระบวนการมีความเสถียรในระยะยาวและให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอ ชิ้นส่วนทั้งหมดเป็นอะไหล่ OEM ของแท้ที่เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์ของ Lam Research
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- ใช้วัสดุตัวนำความบริสุทธิ์สูงสำหรับอิเล็กโทรด และเซรามิก/ควอตซ์เกรดสูงสำหรับฉนวน ให้ความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาได้อย่างยอดเยี่ยม
- อิเล็กโทรดช่วยให้การกระจายพลาสมาเป็นแบบสม่ำเสมอ ขณะที่ฉนวนให้ความแข็งแรงในการเป็นฉนวนสูงเพื่อป้องกันความขัดข้องจากการปล่อยประจุและความเสียหายของอุปกรณ์
- ทนต่ออุณหภูมิสูง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน และแรงกดทางกล สามารถคงความแม่นยำของมิติและประสิทธิภาพได้ระหว่างการทำงานต่อเนื่องตลอด 24/7
- ผ่านการกลึงด้วยค่าความคลาดเคลื่อนที่แม่นยำ ตรงตามโครงสร้างของอุปกรณ์ต้นแบบอย่างสมบูรณ์ เพื่อให้ติดตั้งได้อย่างราบรื่นและให้ผลลัพธ์กระบวนการที่เสถียร
- ใช้งานร่วมกันได้อย่างเต็มรูปแบบกับเครื่อง Lam etchers, CVD, PVD และระบบสุญญากาศที่เกี่ยวข้อง ติดตั้งเปลี่ยนได้ง่ายเพื่อลดเวลาหยุดการผลิต
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมาของ Lam Research
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ขนาด 200 มม. / 300 มม.
- การบำรุงรักษาสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการเปลี่ยนอะไหล่
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: เป็นสินค้าแท้ใหม่เอี่ยม พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A: รองรับการชำระเงินแบบ T/T และ Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าเท่าไหร่? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งผลิตจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อแจ้งระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามสินค้า
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS พร้อมเลขติดตามและลิงก์หลังจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามสถานะตลอดกระบวนการ
Q5: การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ทนความชื้นและแรงกระแทก