คำอธิบาย:
ชิ้นส่วนอิเล็กโทรดและฉนวนของ Lam Research เป็นวัสดุสิ้นเปลืองและส่วนประกอบโครงสร้างที่สำคัญสำหรับอุปกรณ์การกัด (etching) การเคลือบ (deposition) และการประมวลผลพลาสมาในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กโทรดทำหน้าที่สร้างและรักษาพลาสมาที่เสถียรสำหรับการผลิตเวเฟอร์ ในขณะที่ฉนวนประสิทธิภาพสูงช่วยแยกวงจรและส่วนประกอบเพื่อป้องกันไฟฟ้ารั่ว การเกิดอาร์ค และการลัดวงจร ผลิตจากวัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง ชิ้นส่วนเหล่านี้มีคุณสมบัติด้านความต้านทานไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม เสถียรภาพทางความร้อน และความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมา สามารถทำงานได้อย่างเชื่อถือภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อม RF ที่รุนแรง ช่วยให้การทำงานของห้องกระบวนการมีเสถียรภาพในระยะยาวและให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอ ทุกชิ้นเป็นอะไหล่ OEM แท้ที่เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์ของ Lam Research
คุณสมบัติหลัก:
- ใช้วัสดุนำไฟฟ้าความบริสุทธิ์สูงสำหรับอิเล็กโทรด และเซรามิก/ควอตซ์เกรดสูงสำหรับฉนวน ให้ความทนทานยอดเยี่ยมต่อการกัดกร่อนของพลาสมา
- อิเล็กโทรดช่วยให้การกระจายตัวของพลาสมาเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ ส่วนฉนวนให้ความแข็งแรงในการเป็นฉนวนที่เหนือกว่าเพื่อป้องกันความผิดพลาดจากการปล่อยประจุและความเสียหายของอุปกรณ์
- ทนต่ออุณหภูมิสูง แรงกระแทกทางความร้อน และแรงเค้นเชิงกล โดยยังคงรักษามิติและประสิทธิภาพที่แม่นยำระหว่างการทำงานต่อเนื่อง 24/7
- ผ่านการกลึงด้วยค่าความคลาดเคลื่อนที่แม่นยำสูง ตรงตามโครงสร้างของอุปกรณ์ต้นฉบับอย่างสมบูรณ์ เพื่อการติดตั้งที่ราบรื่นและผลลัพธ์กระบวนการที่เสถียร
- ใช้งานร่วมกันได้อย่างเต็มที่กับระบบ Lam etchers, CVD, PVD และระบบสุญญากาศที่เกี่ยวข้อง ติดตั้งและเปลี่ยนได้ง่ายเพื่อลดเวลาหยุดการผลิต
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมา Lam Research
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ 200mm / 300mm
- การบำรุงรักษาสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการเปลี่ยนอะไหล่
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามตลอดกระบวนการ
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก