คำอธิบาย:
ชิ้นส่วนอิเล็กโทรดและฉนวนของ Lam Research เป็นวัสดุสิ้นเปลืองและส่วนประกอบโครงสร้างที่มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์กัดเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบ และการประมวลผลพลาสมา อิเล็กโทรดทำหน้าที่สร้างและคงสภาพพลาสมาที่เสถียรสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ ขณะที่ฉนวนประสิทธิภาพสูงช่วยแยกวงจรและส่วนประกอบเพื่อป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า การเกิดอาร์ค และการลัดวงจร ผลิตจากวัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง ชิ้นส่วนเหล่านี้มีคุณสมบัติด้านความต้านทานไฟฟ้าสูง ความเสถียรทางความร้อน และความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมา ทำงานได้อย่างเชื่อถือได้ภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสภาพแวดล้อม RF ที่รุนแรง ทำให้การทำงานของห้องกระบวนการมีความเสถียรในระยะยาวและให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอ ชิ้นส่วนทั้งหมดเป็นอะไหล่ OEM แท้ที่เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องมือประมวลผลเวเฟอร์ของ Lam Research
สเปกหลัก:
- ใช้วัสดุนำไฟฟ้าความบริสุทธิ์สูงสำหรับอิเล็กโทรด และเซรามิก/ควอตซ์เกรดสูงสำหรับฉนวน เพื่อให้มีความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาได้อย่างยอดเยี่ยม
- อิเล็กโทรดช่วยให้การกระจายตัวของพลาสมาเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ ส่วนฉนวนให้ความแข็งแรงในการเป็นฉนวนที่เหนือกว่าเพื่อหลีกเลี่ยงความขัดข้องจากการคายประจุและความเสียหายของอุปกรณ์
- ทนต่ออุณหภูมิสูง การช็อกจากความร้อน และแรงเค้นเชิงกล โดยยังคงรักษามิติและประสิทธิภาพที่แม่นยำระหว่างการทำงานต่อเนื่องตลอด 24/7
- ผ่านการกลึงด้วยค่าความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวด ตรงตามโครงสร้างของอุปกรณ์ดั้งเดิมอย่างสมบูรณ์ เพื่อให้ติดตั้งได้อย่างราบรื่นและให้ผลลัพธ์กระบวนการที่เสถียร
- เข้ากันได้อย่างเต็มที่กับเครื่อง Lam etchers, CVD, PVD และระบบสุญญากาศที่เกี่ยวข้อง เปลี่ยนได้ง่ายเพื่อลดเวลาหยุดการผลิต
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบกัดพลาสมาของ Lam Research
- อุปกรณ์การเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- ห้องกระบวนการเวเฟอร์ขนาด 200mm / 300mm
- การบำรุงรักษาสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการเปลี่ยนอะไหล่
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:รองรับ T/T, Paypal
Q3: เวลาในการจัดส่งของสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราตรวจสอบตลอดกระบวนการ
Q5:การบรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก