คำอธิบาย:
วาล์วไดอะแฟรม MKS เป็นวาล์วควบคุมแบบแยกและปรับการไหลที่ออกแบบเชิงความแม่นยำ พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมก๊าซความบริสุทธิ์สูง สุญญากาศ และกระบวนการของไหลที่มีความสำคัญ โดยมีรากฐานจากเทคโนโลยีการควบคุมของไหลความแม่นยำของ MKS ที่สั่งสมมาหลายทศวรรษในด้านเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบสุญญากาศ เทคโนโลยีชีวภาพ และเคมีละเอียด โครงสร้างหลักใช้การแยกด้วยไดอะแฟรม โดยไดอะแฟรมที่ยืดหยุ่นจะแยกตัวกลางกระบวนการออกจากแอกชูเอเตอร์และชิ้นส่วนเคลื่อนไหวภายในอย่างสิ้นเชิง ทำให้ไม่มีการรั่วไหลภายนอก ช่องทางการไหลสะอาดเป็นพิเศษ และสามารถควบคุมการเปิด/ปิดและการไหลแบบสัดส่วนได้อย่างแม่นยำ เข้ากันได้อย่างกว้างขวางกับคอนโทรลเลอร์วัดอัตราการไหลมวลของ MKS ทรานสดิวเซอร์ความดัน และระบบควบคุมกระบวนการ เพื่อโซลูชันของไหลอุตสาหกรรมแบบครบชุด
คุณสมบัติหลัก:
- การออกแบบแบบแยกด้วยไดอะแฟรมช่วยขจัดความเสี่ยงการรั่วไหลภายนอก; ช่องทางการไหลภายในที่เรียบและไม่มีพื้นที่อับช่วยป้องกันการสะสมของอนุภาค เป็นไปตามมาตรฐานก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษและการผลิตแบบสุขอนามัย เหมาะอย่างยิ่งสำหรับห้องคลีนรูมและการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
- วัสดุไดอะแฟรมที่เลือกได้: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE ใช้งานร่วมกับก๊าซเฉื่อย ก๊าซเคมีกัดกร่อน ของเหลวความบริสุทธิ์สูง ตัวทำละลาย และสลาร์รีความหนืดต่ำ; รองรับอุณหภูมิการทำงานตั้งแต่ -10℃ ถึง 150℃ สำหรับรุ่นกระบวนการอุณหภูมิสูง
- เมื่อจับคู่กับไดรเวอร์ควบคุมและเซ็นเซอร์วัดการไหลของ MKS ของแท้ จะสามารถควบคุมแบบวงปิดของอัตราการไหล/ความดันที่มีความแม่นยำสูง; ช่วงการปรับการไหลครอบคลุม 0.1sccm~50000sccm โดยมีเสถียรภาพในการควบคุมอัตราการไหลต่ำที่โดดเด่น ค่าการไหลขั้นต่ำที่ควบคุมได้ต่ำถึง 0.1% ของฟูลสเกล
- มีให้เลือกทั้งแบบแมนนวล โซลินอยด์ไฟฟ้า และแอกชูเอเตอร์แบบนิวเมติก (ปกติเปิด/ปกติปิด); ข้อต่อปลายรวมถึง VCR หน้าแปลน KF เกลียว NPT หน้าแปลนมาตรฐาน ISO เพื่อให้เหมาะกับสเปกท่อส่งหลักทั่วโลก
- ไดอะแฟรมที่เปลี่ยนได้อย่างรวดเร็วโดยไม่ต้องถอดวาล์วทั้งหมด; โครงสร้างแบบรวมขนาดกะทัดรัดช่วยลดต้นทุนอะไหล่และเวลาหยุดเครื่องจักร มีความทนทานต่อความล้าแบบรอบสูงสำหรับสภาวะการสลับการทำงานบ่อยครั้ง
- มีการทดสอบการรั่วไหลอย่างเข้มงวดก่อนส่งมอบจากโรงงาน ใช้ได้กับการแยกท่อสุญญากาศระดับสูง/สูงพิเศษในอุปกรณ์เคลือบ การระเหย และการสะสมฟิล์มบาง
Q1: สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—ติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก