คำอธิบาย:
MKS Diaphragm Valves เป็นวาล์วควบคุมแบบแยกและแบบควบคุมการไหล (throttling) ที่ออกแบบอย่างแม่นยำ พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมกระบวนการก๊าซความบริสุทธิ์สูง ระบบสุญญากาศ และของไหลที่มีความสำคัญสูง โดยมีจุดกำเนิดจากเทคโนโลยีการควบคุมของไหลความแม่นยำของ MKS ที่สั่งสมมาหลายทศวรรษในด้านเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบสุญญากาศ ไบโอเทค และเคมีภัณฑ์ชั้นดี โครงสร้างหลักแบบ diaphragm isolation ทำให้ไดอะแฟรมยืดหยุ่นแยกตัวกลางกระบวนการออกจากแอคชูเอเตอร์และชิ้นส่วนเคลื่อนที่ภายในได้อย่างสมบูรณ์ ทำให้เกิดการรั่วไหลภายนอกเป็นศูนย์ ทางเดินการไหลที่สะอาดเป็นพิเศษ และการควบคุมการไหลแบบเปิด/ปิดและแบบสัดส่วนที่แม่นยำ ถูกนำไปใช้งานร่วมกับ MKS mass flow controllers, pressure transducers และระบบควบคุมกระบวนการ เพื่อโซลูชันของไหลอุตสาหกรรมแบบครบชุด
คุณสมบัติหลัก:
- การออกแบบแบบ diaphragm isolation ช่วยกำจัดความเสี่ยงการรั่วไหลภายนอก; ทางเดินการไหลภายในที่เรียบและไม่มี dead space ป้องกันการสะสมของอนุภาค เป็นไปตามมาตรฐานความบริสุทธิ์ของก๊าซระดับสูงมากและการผลิตแบบสุขอนามัย เหมาะสำหรับการผลิตในห้องคลีนรูมและการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
- วัสดุไดอะแฟรมที่เลือกได้: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE เข้ากันได้กับก๊าซเฉื่อย ก๊าซเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ของเหลวความบริสุทธิ์สูง ตัวทำละลาย และสารแขวนลอยความหนืดต่ำ รองรับอุณหภูมิการทำงานตั้งแต่ -10℃ ถึง 150℃ สำหรับรุ่นกระบวนการอุณหภูมิสูง
- เมื่อใช้งานร่วมกับไดรเวอร์ควบคุมและเซนเซอร์การไหล MKS ของแท้ จะสามารถปรับการไหล/ความดันแบบวงปิดที่มีความแม่นยำสูง ช่วงการปรับการไหลครอบคลุม 0.1 sccm~50000 sccm พร้อมเสถียรภาพการควบคุมการไหลต่ำที่ยอดเยี่ยม ค่าการไหลขั้นต่ำที่ควบคุมได้ต่ำสุดถึง 0.1% ของสเกลเต็ม
- มีทั้งแบบแมนนวล โซลินอยด์ไฟฟ้า และแบบนิวแมติก (normally open/normally closed) ข้อต่อปลายประกอบด้วย VCR, KF flange, NPT thread, ISO standard flange เพื่อให้เข้ากับมาตรฐานท่อหลักทั่วโลก
- ไดอะแฟรมที่เปลี่ยนได้อย่างรวดเร็วโดยไม่ต้องถอดวาล์วทั้งหมด โครงสร้างรวมขนาดกะทัดรัดช่วยลดต้นทุนอะไหล่และเวลาหยุดทำงานของอุปกรณ์ มีความทนทานต่อความล้าแบบรอบสูงสำหรับสภาวะการทำงานที่มีการสวิตช์บ่อย
- ผ่านการทดสอบการรั่วไหลอย่างเข้มงวดก่อนส่งมอบจากโรงงาน เหมาะสำหรับการแยกท่อสุญญากาศระดับสูง/ระดับอัลตราสูงในอุปกรณ์การเคลือบ การระเหย และการสะสมฟิล์มบาง
Q1:What is the product situation and warranty like?
A: สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามและลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามกระบวนการทั้งหมดโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ต้นฉบับพร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก