คำอธิบาย:
หุ่นยนต์ควบคุมการจัดการเวเฟอร์ Brooks PRI เป็นระบบควบคุมการเคลื่อนไหวความแม่นยำสูงระดับคลีนรูม ออกแบบโดย Brooks Automation (USA) สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในฐานะหน่วยควบคุมหลักของหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ Brooks PRI พวกมันช่วยให้การขนส่งเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (fab) เป็นไปอย่างแม่นยำ เชื่อถือได้ และปราศจากการปนเปื้อน โดยทำหน้าที่เป็นองค์ประกอบสำคัญของ EFEM (Equipment Front-End Module) และระบบอัตโนมัติของเครื่องมือกระบวนการผลิต
คุณสมบัติหลัก:
- แหล่งกำเนิดและการใช้งาน: ผลิตในสหรัฐอเมริกา ตัวควบคุมที่ใช้สำหรับระบบอัตโนมัติในคลีนรูมของเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm ทำหน้าที่เป็นหน่วยควบคุมหลักสำหรับ EFEM และระบบการผลิตส่วนหน้า
- ประสิทธิภาพความแม่นยำสูง: ติดตั้งระบบควบคุมเซอร์โวหลายแกนและความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับไมครอน ช่วยให้การถ่ายโอนเวเฟอร์มีความเสถียร ความเร็วสูง และไม่ก่อให้เกิดความเสียหายในสภาพแวดล้อมทั้งบรรยากาศปกติและสุญญากาศ
- ความเข้ากันได้ยอดเยี่ยม: เป็นไปตามมาตรฐาน ESD และข้อกำหนดคลีนรูมที่เข้มงวด รองรับ SECS/GEM และ Ethernet เพื่อการเชื่อมต่อกับระบบโฮสต์ของโรงงานได้อย่างง่ายดาย
- การทำงานที่เชื่อถือได้: ผ่านการทดสอบภาคสนามสำหรับการทำงานตลอด 24 ชั่วโมง เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้และคุ้มค่าสำหรับการบำรุงรักษา การเปลี่ยน และการอัปเกรดสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นเก่า
การใช้งานทั่วไป:
- ทำให้การโหลดและอันโหลด FOUP และการจัดแนวเวเฟอร์ล่วงหน้าเป็นอัตโนมัติ
- ถ่ายโอนเวเฟอร์สำหรับกระบวนการกัด (etching), การเคลือบ (deposition) และลิโธกราฟี (lithography)
- รองรับเวิร์กโฟลว์การทดสอบ การตรวจสอบ และเมโทรโลยีของเวเฟอร์
- เหมาะสำหรับสายการผลิต งานวิจัยและพัฒนา และโครงการห้องคลีนรูมต้นแบบ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม รวมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก