คำอธิบาย:
ตัวควบคุมหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ Brooks PRI เป็นระบบควบคุมการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงระดับคลีนรูม ออกแบบโดย Brooks Automation (USA) สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในฐานะหน่วยควบคุมหลักของหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ Brooks PRI พวกมันช่วยให้การขนส่งเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์เป็นไปอย่างแม่นยำ เชื่อถือได้ และปราศจากการปนเปื้อน โดยทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญของ EFEM (Equipment Front-End Module) และระบบอัตโนมัติของเครื่องมือกระบวนการผลิต
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- แหล่งกำเนิดและการใช้งาน: ตัวควบคุมที่ผลิตใน USA สำหรับระบบอัตโนมัติในคลีนรูมของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm โดยทำหน้าที่เป็นหน่วยควบคุมหลักของ EFEM และระบบการผลิตส่วนหน้า
- ประสิทธิภาพความแม่นยำสูง: มาพร้อมระบบควบคุมเซอร์โวหลายแกนและความแม่นยำระดับไมครอน ช่วยให้การเคลื่อนย้ายเวเฟอร์เป็นไปอย่างเสถียร รวดเร็ว และไม่ก่อให้เกิดความเสียหาย ทั้งในสภาพแวดล้อมบรรยากาศปกติและสุญญากาศ
- ความเข้ากันได้ดีเยี่ยม: เป็นไปตามมาตรฐาน ESD และข้อกำหนดคลีนรูมที่เข้มงวด รองรับ SECS/GEM และ Ethernet เพื่อการเชื่อมต่อกับระบบโฮสต์ของโรงงานได้อย่างง่ายดาย
- การทำงานที่เชื่อถือได้: ผ่านการทดสอบภาคสนามสำหรับการทำงานตลอด 24 ชั่วโมง เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้และคุ้มค่าสำหรับการบำรุงรักษา การเปลี่ยนทดแทน และการอัปเกรดสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นเก่า
การใช้งานทั่วไป:
- ทำงานอัตโนมัติในการโหลดและถ่าย FOUP และการจัดแนวเวเฟอร์เบื้องต้น
- ถ่ายโอนเวเฟอร์สำหรับกระบวนการกัด (etching), การเคลือบฟิล์ม (deposition) และโฟโตลิโทกราฟี (lithography)
- รองรับกระบวนการทดสอบเวเฟอร์ การตรวจสอบ และงานเมโทรโลยี
- เหมาะสำหรับสายการผลิต งานวิจัยและพัฒนา และโครงการคลีนรูมต้นแบบ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของผลิตภัณฑ์และการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:เป็นสินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A:T/T, Paypal รองรับ
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าเป็นเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:รุ่นมาตรฐานมีในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4:การจัดส่งและการติดตาม
A:DHL/FedEx/UPS พร้อมให้บริการ มีหมายเลขติดตาม + ลิงก์ให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราดูแลการติดตามแบบครบกระบวนการ
Q5:บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิม พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก