คำอธิบาย:
วาล์วผีเสื้อควบคุมสุญญากาศแบบมุมฉาก (right-angle vacuum throttle butterfly valve) ของแท้แบรนด์ MKS ผลิตในสหรัฐฯ ออกแบบมาเพื่อการควบคุมการไหลของไอเสียและความดันในห้องอย่างแม่นยำในกระบวนการสุญญากาศสูง โครงสร้างมุมฉาก 90° ช่วยประหยัดพื้นที่ติดตั้งตู้ มอเตอร์สเต็ปความเร็วสูงในตัวและเอนโค้เดอร์ตำแหน่งความละเอียดสูงให้การควบคุมแรงดันเชิงเส้นที่เสถียรอย่างยิ่ง ตัววาล์วทำจากสแตนเลส พร้อมซีลปล่อยก๊าซต่ำ (low-outgassing) รองรับหน้าแปลนหลายมาตรฐาน มีตัวเลือกการสื่อสารแบบแอนะล็อก/ดิจิทัล มีสินค้าทั้งใหม่ของแท้และรีเฟอร์บิชที่ผ่านการทดสอบ พร้อมจัดส่งแบบ DAP ทั่วโลกและเอกสารทางเทคนิคครบถ้วน
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- การออกแบบการไหลของอากาศแนวตั้ง 90 องศา ช่วยลดการใช้พื้นที่ท่อแนวนอนอย่างมาก ติดตั้งง่ายภายในเครื่องมือคลัสเตอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดกะทัดรัดและตู้สุญญากาศ
- กลไกขับเคลื่อนแบบไม่เชิงเส้นที่จดสิทธิบัตรช่วยปรับการเคลื่อนที่ของแผ่นบัตเตอร์ฟลายให้เหมาะสม ทำให้การปรับการไหลเป็นเชิงเส้น ลดแรงดันเกิน (pressure overshoot) ให้น้อยที่สุด และได้สูตรกระบวนการที่เสถียรและทำซ้ำได้
- มอเตอร์สเต็ปแรงบิดสูง เปิด/ปิดเต็มที่ภายใน 200 มิลลิวินาที; แผ่นบัตเตอร์ฟลายแบบหนาช่วยป้องกันการสะสมของฝุ่น มีอายุการใช้งานยาวนานในสภาพแวดล้อมก๊าซกัดกร่อนของกระบวนการ etching และ deposition
- ตัววาล์วสแตนเลสสตีลทั้งชุด ซีลยางฟลูออรีน (fluorine rubber) ปล่อยก๊าซต่ำ เป็นไปตามมาตรฐานห้องคลีนรูมสุญญากาศสูง; รองรับรุ่นแบบให้ความร้อนสูงสุด 200℃ เพื่อป้องกันการควบแน่นของก๊าซกระบวนการ
- ตัวเลือกหน้าแปลนหลายแบบ: ISO-KF, ISO-F, CF; รองรับการสื่อสาร 0-10V แอนะล็อก, RS232, EtherCAT, DeviceNet มีรุ่นครบในสต็อก พร้อมให้ไดอะแกรมสายไฟ คู่มือการใช้งาน และการสนับสนุนทางเทคนิคระยะไกล
Q1: สถานะสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อแจ้งระยะเวลา
Q5: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS ให้เลือก หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะถูกส่งหลังการจัดส่ง ทีมงานของเราจะติดตามกระบวนการทั้งหมด
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม, กล่องปิดผนึก, ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก