คำอธิบาย:
ระบบควบคุมวาล์วไอเสียอัตโนมัติ MKS Type 152 Series เป็นชุดควบคุมแรงดันแบบวงปิดเฉพาะทางที่พัฒนาโดย MKS Instruments ซึ่งทำงานร่วมกันได้อย่างสมบูรณ์แบบกับวาล์วไอเสียแบบมอเตอร์ซีรีส์ MKS 253 ทุกชนิด ระบบจะเก็บสัญญาณความดันแบบเรียลไทม์จาก vacuum transducers ประมวลผลผ่านอัลกอริทึม PID ประสิทธิภาพสูงในตัว และปรับการเปิดของวาล์ว throttle 253 โดยอัตโนมัติ เพื่อเปลี่ยนอัตราการสูบของท่อสุญญากาศ ทำให้สามารถควบคุมความดันภายในห้องกระบวนการให้คงที่ตามค่าที่ตั้งไว้
ระบบจะรับสัญญาณความดันแบบเรียลไทม์จาก vacuum transducers ประมวลผลด้วยอัลกอริทึม PID ประสิทธิภาพสูงในตัว และปรับการเปิดของวาล์ว throttle 253 โดยอัตโนมัติเพื่อเปลี่ยนความเร็วการปั๊มของท่อสุญญากาศ ทำให้สามารถล็อกความดันภายในห้องกระบวนการได้อย่างเสถียรที่ค่าที่ตั้งไว้ล่วงหน้า
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- การควบคุมความดันแบบ PID ที่มีความแม่นยำตามมาตรฐานอุตสาหกรรม
- โหมดการทำงานแบบคู่ เพื่อตอบสนองความต้องการการผลิตที่หลากหลาย
- การเชื่อมต่อสัญญาณแบบครบถ้วนและระบบอัตโนมัติระยะไกล
- การเริ่มต้นแบบนุ่มนวล (Softstart) และการทำงานที่เสถียรพร้อมระบบป้องกันหลายชั้น
- การทำงานร่วมกันอย่างสมบูรณ์แบบกับระบบนิเวศของชิ้นส่วนสุญญากาศ MKS
การใช้งาน:
- การผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์: เครื่องกัดพลาสมา, อุปกรณ์การเคลือบ CVD, ระบบสปัตเตอริง PVD, ห้องสุญญากาศสำหรับทำความสะอาดเวเฟอร์
- อุตสาหกรรมออปโตอิเล็กทรอนิกส์และจอแสดงผล: การเคลือบฟิล์มบาง OLED/LCD, การสปัตเตอริงซับสเตรตแก้ว, สายการเคลือบสุญญากาศเลนส์ออปติก
- การผลิตพลังงานใหม่: สายการผลิตการสะสมฟิล์มบางของเซลล์แสงอาทิตย์, อุปกรณ์ประมวลผลสุญญากาศสำหรับวัสดุแบตเตอรี่
- ห้องปฏิบัติการและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์: แท่นทดสอบสุญญากาศสูง, เตาสุญญากาศความแม่นยำสูง, แพลตฟอร์มการทดลองการปรับสภาพพื้นผิววัสดุ
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A:สินค้าใหม่ของแท้ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินคืออะไร?
A:รองรับ T/T และ PayPal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A:มีรุ่นมาตรฐานในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
การจัดส่งและการติดตาม
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS โดยจะมีหมายเลขติดตามพัสดุและลิงก์ให้หลังการจัดส่ง พร้อมการติดตามแบบครบกระบวนการโดยทีมงานของเรา
บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A:บรรจุภัณฑ์ของแท้จากแบรนด์ พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำสูง) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก