คำอธิบาย:
สเปกโตรมิเตอร์ใยแก้วนำแสงของ LAM Research เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดทางแสงความแม่นยำสูงที่ผสานรวมเข้ากับเครื่องจักรสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยหลักจะจับคู่กับโมดูลออปติคัลระดับมืออาชีพ และใช้การออกแบบการส่งสัญญาณผ่านใยแก้วนำแสงเพื่อเก็บสเปกตรัมการปล่อยแสงพลาสมา การสะท้อน และการส่งผ่านภายในห้องกระบวนการ ถูกใช้อย่างแพร่หลายสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดการเอทช์ การวัดฟิล์มบาง และการตรวจสอบสภาพพลาสมาแบบเรียลไทม์ อุปกรณ์เหล่านี้ช่วยให้กระบวนการมีเสถียรภาพ เพิ่มอัตราผลผลิต และลดชิ้นงานเสียในกระบวนการเอทช์ CVD PVD และกระบวนการผลิตแบบสุญญากาศอื่น ๆ ในฐานะชิ้นส่วนที่เข้ากันได้กับ OEM ดั้งเดิม จึงมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมและความน่าเชื่อถือระยะยาวสำหรับเครื่องมือกระบวนการตระกูล LAM ทั้งหมด
คุณสมบัติหลัก:
- ติดตั้งตัวตรวจจับ CCD/PMT ความไวสูง ให้ความละเอียดสเปกตรัมที่ยอดเยี่ยมและสัญญาณรบกวนต่ำ ครอบคลุมช่วงความยาวคลื่นอัลตราไวโอเลต-แสงที่มองเห็นได้ เพื่อตอบสนองความต้องการการตรวจสอบกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย
- อินเทอร์เฟซใยแก้วมาตรฐาน SMA รองรับการส่งสัญญาณระยะไกล โพรบที่รองรับสภาวะสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และพลาสมา
- การวิเคราะห์สเปกตรัมแบบเรียลไทม์ช่วยให้ตัดสินจุดสิ้นสุดการเอทช์ได้อย่างแม่นยำ การวัดความหนาฟิล์มบางและคุณสมบัติทางแสง ช่วยหลีกเลี่ยงการเอทช์มากเกินไปและน้อยเกินไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- มีพอร์ตการสื่อสาร Ethernet และ RS-232 ในตัว รองรับความเข้ากันได้เต็มรูปแบบกับโปรโตคอลของอุปกรณ์ LAM เพื่อการแลกเปลี่ยนข้อมูลและการเชื่อมโยงระบบอย่างราบรื่น
- โครงสร้างกะทัดรัดและแข็งแรงทนทาน พร้อมความสามารถในการป้องกันแรงสั่นสะเทือนและสัญญาณรบกวน รองรับการทำงานต่อเนื่อง 24/7 และการเปลี่ยนหน้างานที่ง่าย
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการเอทช์พลาสมา เครื่องมือการเคลือบฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- การตรวจจับจุดสิ้นสุดสำหรับกระบวนการเอทช์เวเฟอร์
- การวัดความหนาฟิล์มบางและการสะท้อนแบบ in-situ
- การวิเคราะห์สถานะพลาสมาแบบเรียลไทม์สำหรับห้องกระบวนการสุญญากาศ
- แพลตฟอร์มกระบวนการหลัก LAM Research 2300, 9400, ExAL และแพลตฟอร์มอื่น ๆ ที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:สถานะของสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่ รับประกัน 1 ปี
Q2:เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตามพัสดุ + ลิงก์จะให้หลังจัดส่ง มีการติดตามตลอดกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิม พร้อมการป้องกันเสริมความแข็งแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ป้องกันความชื้นและแรงกระแทก