คำอธิบาย:
นี่คือแผงจ่ายไฟ OEM ดั้งเดิมสำหรับ LAM Research Electrostatic Chuck (ESC) ซึ่งเป็นชิ้นส่วนสำคัญสำหรับเครื่องกัดกรด (etchers) และระบบการสะสมฟิล์ม (deposition systems) ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่จ่ายแรงดันไฟฟ้ากระแสตรง (DC) ที่มีเสถียรภาพเพื่อยึดเวเฟอร์ให้แน่นด้วยแรงไฟฟ้าสถิตภายในห้องสุญญากาศ ผลิตด้วยชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูงและการออกแบบวงจรป้องกันสัญญาณรบกวน ทำให้สามารถรักษาประสิทธิภาพได้อย่างยอดเยี่ยมภายใต้สภาวะสุญญากาศสูง อุณหภูมิสูง และสัญญาณรบกวน RF ที่รุนแรง ช่วยให้การจัดตำแหน่งเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอและเพิ่มผลผลิตการผลิตที่เสถียรในการทำงานต่อเนื่อง 24/7 เป็นชิ้นส่วนทดแทนที่เชื่อถือได้สำหรับการบำรุงรักษาอุปกรณ์โรงงานเซมิคอนดักเตอร์
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- รองรับการใช้งานร่วมกับอุปกรณ์ LAM Research สำหรับการกัด (etching), CVD และ PVD อย่างสมบูรณ์ ผ่านการทดสอบและปรับเทียบจากโรงงานอย่างเข้มงวดเพื่อให้เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์แบบ
- มีคุณสมบัติริปเปิลต่ำมากและเอาต์พุตกระแสไฟที่มีเสถียรภาพสูง ระบบควบคุมแบบวงปิดช่วยชดเชยสัญญาณรบกวน RF เพื่อรักษาแรงยึดจับให้คงที่
- ติดตั้งระบบป้องกันแรงดันเกิน กระแสเกิน อุณหภูมิเกิน และการตรวจจับอาร์ค (arc detection) โดยจะตัดไฟทันทีเพื่อปกป้องเวเฟอร์และอุปกรณ์
- ออกแบบให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมคลีนรูมและสุญญากาศที่รุนแรง ทนต่อการสั่นสะเทือน ความร้อน และสัญญาณรบกวนแม่เหล็กไฟฟ้า เพื่ออายุการใช้งานที่ยาวนาน
- โครงสร้างมาตรฐานและอินเทอร์เฟซเฉพาะทางช่วยให้สามารถเปลี่ยนทดแทนได้โดยตรง ลดเวลาหยุดทำงานของอุปกรณ์และค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาอย่างมาก
การใช้งานทั่วไป:
- ระบบการกัดพลาสมาของ LAM Research
- เครื่องมือสำหรับการสะสมฟิล์มบาง CVD, PVD และ ALD
- ห้องกระบวนการสุญญากาศสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. / 300 มม.
- การบำรุงรักษาสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการเปลี่ยนอะไหล่
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าแท้ใหม่เอี่ยม พร้อมการรับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินของคุณคืออะไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสินค้าคงคลังเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังการชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อทราบระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตามพัสดุ
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะให้หลังการจัดส่ง มีการติดตามตลอดกระบวนการโดยทีมงานของเรา
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์แบรนด์ดั้งเดิมพร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องปิดผนึก ลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก